MEMS变形反射镜主要特性测试

摘要：

介绍了基于微机电系统技术的微变形反射镜的基本结构和电极分布.分析了微机系统变形镜的变形原理,推导了微变形镜的镜面变形与外加驱动电压的关系.分析了基于计算机控制的频闪显微干涉测量系统的组成及测试原理,并利用该系统实现了对微变形镜静态电压-位移曲线、静态面形、动态离面变形以及谐振频率的测试.实验表明,测试结果与理论分析有很好的一致性.

关键词：光学测量、MEMS变形镜、频闪显微干涉测量系统、特性

所属期刊栏目：38

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：航天支撑技术基金041.3JW05;中南民族大学自然科学基金YZY06003

在线出版日期：2010-03-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：3245-3249