面形误差对亚波长金属光栅偏振器性能的影响

摘要：

基于严格耦合波理论分析了光栅面形误差对亚波长金属光栅偏振器偏振性能的影响.通过对数值结果的分析发现,光栅圆角误差、光栅侧壁倾斜误差和光栅表面粗糙误差对光栅的TM透射效率影响不大,但它们使得光栅的消光比明显降低.因此,面形误差使得光栅的偏振性能明显降低.理论分析表明,顶角为直角、侧壁垂直和表面光滑的理想矩形光栅结构的偏振性能最好.

关键词：亚波长光栅、亚波长金属光栅偏振器、面形误差、严格耦合波理论、TM透射效率、消光比

所属期刊栏目：38

分类号：O436.3(光学)

资助基金：973国家重点基础研究与发展计划2006CB00407;国家自然科学基金50775017;新世纪优秀人才基金NCET-04-0266

在线出版日期：2009-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：951-955