傅里叶变换轮廓术中物体高度最佳恢复条件
在分析傅里叶变换轮廓术中传统的高度与相位关系的基础上,推出了高度与相位的普通关系式,提出了物体高度最佳恢复条件的新理论,给出了简单的物理解释.由此得出结论:物体高度最佳恢复时的几何参量α(双瞳连线与参考面夹角)大小与系统几何结构参量a、b有关.计算机仿真验证了:当a=600 mm、b=3 000 mm时,可得物体高度最佳恢复时的α=arcsin (1/5),此时所得的标准差为0.269 7;作为对比:当α=0时,所得的标准差为0.295 6.实验验证了:α=arcsin (1/5)时的恢复效果比α=0时的恢复效果更好些.
傅里叶变换轮廓术、几何参量、物体高度恢复、相位、误差
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O438.2(光学)
湖南省教育厅资助科研项目08C617;湖南省"十一五"重点建设学科-光学基金和湖南文理学院科研重点项目JJZD0702
2009-05-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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928-931