GaN薄膜的溶胶-凝胶法制备及其表征
采用溶胶凝胶法成功地制备出氮化镓薄膜.以单质镓为镓源制备镓盐溶液、柠檬酸为络合剂制备出前驱体溶胶,再甩胶于Si(111) 衬底上,在氨气氛下热处理制备出GaN薄膜.X射线衍射(XRD)分析及选区衍射分析(SAED)表明所制备的薄膜是六角纤锌矿结构GaN薄膜;XPS分析其表面,结果显示样品中的镓元素、氮元素均以化合态存在,且Ga:N约为1:1;PL谱分析结果表明所制备的薄膜具有优良的发光性能.
氮化镓薄膜、溶胶-凝胶、六角纤锌矿结构
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O78(晶体生长)
西北大学博士科研启动基金0kydf075
2009-04-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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