二维光子晶体的软平板印刷技术制作研究

摘要：

分析了软平板印刷技术制作二维光子晶体的特点和方法.利用绝缘PDMS模板,采用软平板印刷技术制造了三角晶系结构的二维聚合物光子晶体,采用同样的技术成功制成尺寸为150～500 nm,纵横比达1.25的高密度二维光子晶体.与其他制作技术相比,平板印刷技术具有大尺寸和易于制作的优点.结果表明,制作获得的微结构有很高的保真度.

关键词：光子晶体、软平板印刷术、聚合物

所属期刊栏目：38

分类号：O743(晶体化学)

资助基金：国家自然科学基金60677027;教育部博士点基金20060422025;国家留学基金委2005B47011

在线出版日期：2009-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：54-59