基于数字显微全息技术的相位光栅结构测量

摘要：

以相位光栅为实验对象,开展了基于数字显微全息技术的相位物体三维显微结构信息的再现研究.在Mach-Zender透射式实验系统的基础上,分别采用显微物镜和无透镜放大方式,对相位光栅进行放大,以提高系统横向分辨率.在显微物镜放大系统中,菲涅耳近似数值再现算法与双波长技术相结合,抑制主要系统噪音,获得相位光栅的显微结构三维分布.在无透镜放大数字显微全息系统中,分别利用菲涅耳近似法和卷积方法再现原始物波前,并提出相减法消除系统主要球面误差,获得相位光栅的深度信息.实验结果与Veeco干涉仪测试结果比对表明,光栅周期和深度结构与干涉仪测试数据相符.

关键词：光学测量、数字显微全息技术、相位物体、显微结构测量

所属期刊栏目：37

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：上海市重点学科建设项目Y0102;中国科技部中-希国际合作项目资助

在线出版日期：2009-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2234-2238