镱铒共掺Al2O3薄膜光致发光特性优化

摘要：

用中频磁控溅射方法在SiO2/Si基底上制备了五组固定掺铒浓度不同镱铒浓度比率的镱铒共掺Al2O3薄膜样品.室温下测量了薄膜在1.430 μm～1.630 μm波段范围内光致发光光谱.研究发现,镱的掺入有效地提高了三价铒离子的光致发光强度,最优的镱铒掺杂为:掺铒0.33 mol%,Yb3+∶Er3+=10∶1,比相同掺铒浓度单掺铒样品光致发光峰值强度增强40倍;确定的掺铒浓度,有着固定的最佳镱铒浓度比率,主要是镱铒离子间的正向和反向能量传递相互作用的结果,但最佳镱铒浓度比率随着掺铒浓度的增加呈现下降趋势;单掺铒薄膜的光致发光峰值强度随掺铒浓度呈现近Gauss形状变化,而最佳镱铒共掺样品的光致发光峰值强度随掺铒浓度呈现了倒Gauss形状变化.

关键词：光波导放大器、Yb3+/Er3+共掺Al2O3薄膜、中频磁控溅射、光致发光光谱

所属期刊栏目：35

分类号：TN383+.2(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金60477023;辽宁省科技厅资助项目20062137

在线出版日期：2006-12-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1746-1751