氧化镁薄膜的腐蚀速率研究

摘要：

研究了以氧化镁(MgO)为牺牲层材料制作热成像阵列器件过程中MgO膜层在磷酸溶液中的湿法腐蚀特性,包括横向腐蚀速率和纵向腐蚀速率,获得了MgO膜层的腐蚀速率随磷酸溶液浓度和温度变化的关系曲线,并得到了用于制作图形和制作悬空结构的较好工艺参量.

关键词：氧化镁薄膜、牺牲层技术、腐蚀速率

所属期刊栏目：35

分类号：TB3(工程材料学)

在线出版日期：2006-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1547-1550