基于非周期多层膜的X射线成像研究

摘要：

本文设计了惯性约束聚变(ICF)诊断实验用X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜,给出了系统的结构参量.使用ZEMAX光学软件对KB型显微镜进行了性能模拟,结果表明:在8 keV能点,放大率为8倍时,轴上点的最佳空间分辨率小于2 μm,200微米视场的空间分辨率优于 10 μm.采用磁控溅射方法制备了W/B4C非周期多层膜,经X射线衍射仪(XRD,工作能量8 keV)测量,其反射率为20%,带宽为0.3°,达到了KB型显微镜成像系统的要求.使用Cu靶X射线管进行了成像实验,得到了放大倍数分别为1倍和2倍的一维X射线像.

关键词：KB型显微镜、X射线非周期多层膜、X射线成像、空间分辨率

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分类号：O434.1(光学)

资助基金：高比容电子铝箔的研究开发与应用项目2004AA843081;上海市博士后科研项目05R214140

在线出版日期：2006-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：881-885