波导型钯(Pd)膜氢传感器数值模拟及优化

摘要：

基于离子交换波导的集成型器件是氢敏传感器中很有发展潜力的一种.传感区域由离子交换波导及其表面的金属钯膜组成,通过有限差分法(FDM)计算了这种波导结构中的导模及表面等离子模的模场分布,分析了其传播特性与钯膜光学常数的关系,并结合束传播方法(BPM)对钯膜的厚度进行了优化,使其具有最高的灵敏度.

关键词：光波导、离子交换、表面等离子波、氢敏传感器

所属期刊栏目：34

分类号：TN212.1(光电子技术、激光技术)

资助基金：浙江省科技计划001101027

在线出版日期：2005-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：237-240