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基于光探针技术的自聚焦透镜光斑测量方法

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以扫描探针显微理论为基础,讨论了基于光学纤维探针技术的自聚焦透镜光斑测量方法,介绍了实验系统的构成和测量原理、光学探针的制作和软件控制技术,并且以日本产NSG自聚焦透镜为样品进行了光斑测量和分析.所得结果对于评价自聚焦透镜的成像性能具有重要意义.

光探针、自聚焦透镜、光斑测量

33

TH74(仪器、仪表)

2004-03-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

244-247

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1004-4213

61-1235/O4

33

2004,33(2)

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