原子束计算全息片的设计与制作研究
在分析原子束计算全息片特点的基础上,提出采用罗曼Ⅲ型傅里叶变换计算全息图设计原子束计算全息片,给出设计步骤 ,然后提出采用电子束光刻编码矩孔图形,ICP各向异性刻蚀SiN薄膜的全息片制作方案,对全息片的制作工艺流程详细予以介绍,最后给出制作完成的SiN薄膜计算全息片.
原子束计算全息片、罗曼Ⅲ型编码、SiN薄膜、纳米任意图形制作
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O438.1(光学)
中国科学院知识创新工程项目A2K0009
2003-09-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
598-600