激光干涉仪应用于无导轨测距的研究
本文提出了一种使用外差激光干涉仪实现无导轨测距的方法.该 方法动态跟踪测量反射镜,使测量信号不中断,实现反射镜在一定范围内的非直线 运动.这样,拥有双频激光干涉仪的用户,再添置一台比较简单的跟踪装置,即可用于无导 轨测距,测量精度可远高于通用测距仪,为大型设备现场组装和安装提供了新方法.本文介 绍了工作原理及实验情况.
激光干涉仪、跟踪测量、无导轨测距
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TN24(光电子技术、激光技术)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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