碳源浓度对MPCVD金刚石涂层的影响研究

摘要：

以CH4和H2为气源,采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),通过改变碳源浓度分别为5％、10％、15％,在硬质合金(YG6)上沉积了金刚石涂层样品.使用白光共聚焦显微镜、纳米压痕仪等研究了样品的微观形貌、表面粗糙度和弹性模量.结果表明:金刚石涂层表面光滑均匀,1 mm2区域表面粗糙度约为2μm,随着甲烷浓度升高,薄膜弹性模量呈先升高后下降的趋势,其中10％甲烷浓度制备的样品平均弹性模量约为457.9 GPa.

关键词：金刚石涂层、MPCVD、碳源浓度、性能

所属期刊栏目：50

分类号：TQ164

资助基金：浙江省基础公益研究计划项目;浙江省教育厅一般科研项目;台州学院校立科研培育项目;浙江省重点研发计划项目

在线出版日期：2022-07-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：31-34