10.3969/j.issn.1001-9677.2022.12.010
碳源浓度对MPCVD金刚石涂层的影响研究
以CH4和H2为气源,采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),通过改变碳源浓度分别为5%、10%、15%,在硬质合金(YG6)上沉积了金刚石涂层样品.使用白光共聚焦显微镜、纳米压痕仪等研究了样品的微观形貌、表面粗糙度和弹性模量.结果表明:金刚石涂层表面光滑均匀,1 mm2区域表面粗糙度约为2μm,随着甲烷浓度升高,薄膜弹性模量呈先升高后下降的趋势,其中10%甲烷浓度制备的样品平均弹性模量约为457.9 GPa.
金刚石涂层、MPCVD、碳源浓度、性能
50
TQ164
浙江省基础公益研究计划项目;浙江省教育厅一般科研项目;台州学院校立科研培育项目;浙江省重点研发计划项目
2022-07-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
31-34