10.3969/j.issn.1001-9677.2022.08.012
高纯液氯的纯化技术
随着微电子、新型半导体材料和大规模集成电路技术的快速发展,对高纯液氯的质量要求不断提高,要求其具有更低的杂质含量,因此高纯液氯的纯化技术受到广泛关注.本文介绍了高纯液氯的基本性质和应用领域,概述了国内外高纯液氯的研制、纯化以及去除其中特定杂质的方法.展望了高纯液氯纯化技术的发展,高纯氯气作为重要的电子气体将发挥重要的作用,对该产品进行产业化生产十分必要.
高纯液氯、纯化技术、吸附、精馏、大规模集成电路
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TQ117
2022-05-25(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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