MPCVD法制备的不同温度的金刚石涂层的微结构及力学性能研究

摘要：

采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),以硬质合金(YG6)为基底,通过固定碳源浓度10％,腔体压强4 kPa,并控制腔内温度分别为700℃、750℃和800℃制备了不同基底温度的硬质合金基金刚石涂层样品.使用XRD、SEM、EDS、Nano Test等方法研究了样品的物相结构、成分、微观形貌和纳米硬度.结果表明:涂层颗粒尺寸约为100～200 nm,表面平滑,且随着温度升高,样品晶粒尺寸略有增大,结晶更加完善,表面纳米硬度呈升高趋势,约为50 GPa.

关键词：MPCVD;金刚石涂层;制备温度;微结构;力学性能

所属期刊栏目：49

分类号：TQ164

资助基金：浙江省重点研发计划项目;浙江省教育厅一般科研项目

在线出版日期：2021-12-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：31-34