压电微动近场直写曲线纤维的工艺研究

摘要：

首先,搭建近场直写设备和设计微动装置,为补偿压电陶瓷促动器的小行程采用柔性放大机构,并进行有限元分析其应力和共振频率;然后,研究近场直写工艺的直写可控性规律,探究各因素对工艺效果的影响,尤其是不同速度匹配机制下的轴向压弯效应、临界阶段和拖拽效应;最后,通过闭环控制压电陶瓷驱动器进行可控制备特定周期和特定幅值的规律波浪型曲线纤维.

关键词：近场直写;曲线纤维;压电微动

所属期刊栏目：49

分类号：TQ340.64

在线出版日期：2021-11-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：33-35,40