一种适用于电子气工厂的新型制氮机工艺研究

摘要：

目前,随着电子气行业对氮气的性能要求越来越严苛,需要氮气设备具有包括氮气供应连续性、氮气供应可靠性及氮气产品杂质含量等要求.现有的制氮机往往很难全方位满足电子气供气要求,本文主要论述了一种适用于电子气工厂的新型制氮机,具有宽泛的负荷调节范围,可节约能耗,可保证氮气供应的连续性及可靠性,且无需增设纯化器即可保证氮气产品纯度,关键设备一用一备,可避免设备宕机对制氮供气的影响,保证供气系统的可持续性.

关键词：制氮机、氧氮精馏、可持续供气

所属期刊栏目：49

分类号：TQ914.1(其他化学工业)

在线出版日期：2021-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：115-117