氧化锌纳米阵列制备及气敏性能研究

摘要：

为了研究氧化锌纳米线传感器的气敏性能,通过磁控溅射法和水热合成法制备了贵金属Pd掺杂的氧化锌纳米阵列,对制备所得的样品结构和样貌进行了分析,着重研究了掺杂对氧化锌纳米阵列气体传感器的气敏性能的影响,得到贵金属的掺杂能够提高对气体的响应度,并在一定程度上提高气体的灵敏性能.最后,分析了样品的气体传感机理.研究结果表明:在最佳温度下,金属Pd掺杂能够对原件的气敏性能进行改善.

关键词：氧化锌纳米线、磁控溅射法、水热合成法、贵金属Pd掺杂、气敏性能

所属期刊栏目：48

分类号：TQ450.4

资助基金：延安大学2018年科研计划项目YDQ2018-13

在线出版日期：2020-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：24-25,43