10.3969/j.issn.1001-9677.2018.08.007
多晶硅生产中SiCl4氢化工艺进展
多晶硅生产方法中,改良西门子法由于安全性好、沉积速率高、纯度较高等优点,成为目前应用最广泛的工艺.其中SiCl4氢化制备SiHCl3工艺,是其中一项关键技术,也是多晶硅生产中耗能较多的工序.在国家提倡节能降耗、生态环保的背景下,如何提高SiCl4氢化转化率,提高产量和质量,降低能耗,意义重大.本文针对这个问题,对目前的各种氢化技术进行了对比研究,发现催化氢化中的氯氢化技术节能降耗最显著,综合指标好,是有前景的氢化技术.
多晶硅、改良西门子法、节能降耗、氢化
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TQ127.2
2018-06-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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8-9,12