10.3969/j.issn.1001-9677.2016.09.014
几种光产酸剂的合成与产酸性能研究
综述了几种不同类型光产酸剂合成反应及产酸性能研究,包括三嗪类化合物的合成、鎓盐类化合物和苯磺酸酯类化合物的合成及产酸性能研究。通过对比,得出不同类型的光产酸剂在不同溶剂中,不同波长下的光源曝光产酸率不同,可应用于不同的光致抗蚀剂体系。
光产酸剂、合成、产酸率
44
TN05(一般性问题)
2016-06-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
38-39,94
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10.3969/j.issn.1001-9677.2016.09.014
光产酸剂、合成、产酸率
44
TN05(一般性问题)
2016-06-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
38-39,94
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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