10.3969/j.issn.1001-9677.2014.13.069
化学气相沉积法多晶硅生产工艺的研究
对化学气相沉积法生产多晶硅的工艺进行了研究。多晶硅生产过程中的温度、流量、压力、物料摩尔比、进料气体分布以及操作安全性是影响多晶硅生产的重要因素,通过生产过程的研究和总结,实现了相关参数控制和安全性的优化,为企业带来了可观效益。
多晶硅、化学气相沉积、工艺控制
TN304.1(半导体技术)
2014-08-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
183-184,192