10.3969/j.issn.1001-9677.2014.07.060
多晶硅还原炉倒棒原因分析
随着我国光伏产业和电子信息技术产业的快速发展,大量的多晶硅半导体材料被应用在太阳能电池和电子工业上.生产多晶硅的主要设备是大型节能还原炉,但是在生产过程中还原炉的倒棒致使设备损坏,备品备件大量被消耗以及产量质量的降低,能耗上升,生产成本提高.研究还原炉倒棒原因,通过改变进料喷嘴、优化工艺参数等来降低还原炉倒棒率就显得尤为重要.
还原炉、倒棒、优化参数
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TQ127.2
2014-05-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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