阳极氧化法制备透明氧化铝薄膜的研究

摘要：

以铝箔为阳极,石墨为阴极,草酸为电解液,采用二次阳极氧化法制备透明氧化铝薄膜.采用金相显微镜观察一次阳极氧化和二次阳极氧化后氧化铝薄膜的表面形貌,并用X射线衍射仪对氧化铝薄膜结构进行表征.结果表明,二次阳极氧化工艺对氧化铝薄膜的质量有重要的影响.采用退火-除油-浸蚀-电化学抛光-一次阳极氧化-二次阳极氧化工艺,并严格控制工艺参数,可以制备结构良好的透明氧化铝薄膜,且氧化铝薄膜是非晶态结构.

关键词：透明氧化铝薄膜、阳极氧化、草酸

所属期刊栏目：42

分类号：TB321(工程材料学)

资助基金：广西教育厅科研立项项目201106LX617;百色学院一般科研项目基金资助2011KB02

在线出版日期：2014-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：51-53