氢化炉C-C发热体使用寿命的研究

摘要：

在多晶硅生产氢化工序中,在相同的工况下,对德国MSA公司C-C复合发热体和国内生产的C-C复合发热体的使用现象、寿命等方面的对比,总结出了影响氢化炉中C-C复合加热体使用寿命的主要因素,经实践验证国产C-C复合发热体完全可以满足多晶硅生产的使用要求.

关键词：C-C复合材料、电极、使用寿命

所属期刊栏目：41

分类号：TQ12

在线出版日期：2013-11-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：113-114,131