基于DFT计算氢硅氯反应体系的热化学数据

摘要：

用量子化学密度泛函理论(DFT)方法计算了氢硅氯反应体系中多种物质的热力学参数,并将计算结果与尽可能查得的手册数据进行比对,以此验证计算数据的可适用性.对比表明,计算结果与手册数据十分吻合.以计算结果为基础数据,应用于西门子多晶硅生产条件下的合成和还原过程热力学平衡计算,得到了与实际生产十分接近的结果.在此基础上,讨论了多晶硅沉积过程的反应机理.本文工作对改良西门子工艺基础研究中,通过实验手段难以获得的热力学数据是一个补充.

关键词：改良西门子工艺、热力学参数、多晶硅、密度泛函理论

所属期刊栏目：41

分类号：O642.4;TQ127.2(物理化学（理论化学）、化学物理学)

在线出版日期：2013-05-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：73-76