硅烷的纯化技术与检测分析方法

摘要：

高纯硅烷主要用于电子和半导体行业中,是一系列含硅化合物的基本原料.概述了硅烷的纯化技术和分析方法.纯化技术有吸附法、冷冻法、精馏法；检测分析方法包括DID、PDHID气相色谱分析仪和气相色谱一质谱联用分析仪.

关键词：硅烷、纯化技术、检测、分析

所属期刊栏目：41

分类号：TQ117

在线出版日期：2013-05-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：43-46