高质量YBCO薄膜的沉积方法

摘要：

超导材料具有潜在商业价值和广泛的应用前景,尤其是高温超导材料到人受到们的广泛关注.YBCO(YBa2Cu3O7-δ)超导材料具有高电流密度,低交流损耗等特点,其独特的物理性质,已经引起了广泛的关注.本文主要介绍了制备薄膜的方法,包括物理法、化学法及其他方法,并对其工作原理及应用进行了介绍.

关键词：YBCO、薄膜、溅射、制备

所属期刊栏目：41

分类号：TM26(电工材料)

在线出版日期：2013-03-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：38-40