ZnMgO合金薄膜晶体质量与生长温度的依赖关系

摘要：

利用等离子体分子辅助分子束外延设备在蓝宝石衬底上通过改变生长温度,得到了不同的ZnMgO合金薄膜.研究了衬底温度对ZnMgO的结构和光学性质的影响.X射线衍射谱表明所有的ZnMgO合金样品都是(002)取向.晶体结构为六角纤锌矿.随着生长温度的增加,ZnMgO的(002)衍射峰的最大半宽度逐渐减小.在ZnMgO合金中的Mg组分随衬底温度升高逐渐增大.样品的表面形貌随着衬底的温度改变而变化.ZnMgO的X射线衍射,透射光谱,光致发光谱和扫描电镜照片都表明在800℃得到了高质量的ZnMgO合金薄膜.并且通过控制衬底温度实现了ZnMgO中Mg组分的调节.

关键词：ZnMgO、等离子体辅助分子束外延、光致发光

所属期刊栏目：39

分类号：TB3;TQ1

资助基金：广东省育苗项目LYM10063

在线出版日期：2012-01-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：65-66,73