TiNi形状记忆合金薄膜的研究现状

摘要：

TiNi形状记忆合金薄膜是近几年来随着微电子电路发展的新兴材料.目前,涂覆TiNi合金薄膜的材料被广泛用作集成电路中微驱动器、微动开关等智能电路元件等.介绍了TiNi合金薄膜的制备方法,总结了制备过程中影响薄膜性质的因素,结合TiNi合金薄膜的应用现状,提出了未来TiNi合金薄膜研究发展方向.

关键词：TiNi形状记忆合金、薄膜、制备、应用

所属期刊栏目：39

分类号：TN7;TN6

在线出版日期：2011-09-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：38-40