化学法多晶硅生产工艺研究进展

摘要：

随着能源危机的不断加剧,太阳能作为可再生能源已成为关注的焦点.从国内外多晶硅的生产状况,综述了化学法多晶硅的生产工艺,重点分析比较了几种潜在工业应用的流化床法生产多晶硅工艺的特点,指出未来多晶硅生产应当以流化床法为主,并耦合其它相关技术.同时展望了未来化学法生产多晶硅的发展趋势.

关键词：太阳能多晶硅、化学法、流化床反应器、改良西门子工艺、硅烷法工艺

所属期刊栏目：39

分类号：TU9;X78

资助基金：三明市科技重点项目2010-G-1;福建省教育厅科技项目JA09234和福建省高校服务海西重点项目联合资助HX200806

在线出版日期：2011-06-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：21-24,37