重力式芯片处理机温度控制技术研究

摘要：

重力式芯片处理机温度控制过程中，由于被控对象数学模型的不确定性，运用常规PID控制存在着调节时间长、易超调和超调后冷却时间长的问题。采用系统辨识的方法确定被控对象的传递函数，在此基础上，运用了一种分段PID的方法有效地抑制了温度的超调，并减小了调节时间。仿真和实验证明了该方法的有效性，能满足重力式芯片处理机的工艺要求，同时提高了生产效率。

关键词：重力式芯片处理机、温度控制、分段PID

分类号：TP273(自动化技术及设备)

在线出版日期：2015-05-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：36-38,48