金刚石厚膜的微结构研究

摘要：

采用直流辉光等离子体化学气相沉积金刚石厚膜,利用氢的微波等离子体对抛光的金刚石厚膜截面进行刻蚀,用扫描电子显微镜、激光拉曼光谱仪研究了金刚石厚膜的微结构及杂质、缺陷的分布.结果表明:杂质、空洞主要富集在晶界处;在金刚石膜的生长过程中,随着甲烷流量的增加,晶界密度、空洞、晶粒内部缺陷、杂质含量逐渐增加,晶界的排列从以纵向为主过渡到网状结构.

关键词：金刚石厚膜、等离子体刻蚀、生长特性、晶界

所属期刊栏目：22

分类号：O521.2;O613.71(高压与高温物理学)

资助基金：吉林省科技攻关项目20070314

在线出版日期：2009-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：265-268