飞秒激光辐照下硅薄膜的非傅里叶能量输运研究

摘要：

在双曲双步输运模型基础上建立数值模型,针对超短脉冲激光作用下硅薄膜的微观能量输运过程展开理论研究.针对电子、晶格超快温升响应过程的数值模拟结果表明,电子作为主要能量载子在几皮秒内主导了能量输运过程.电声子之间的能量耦合系数主要依赖于电子温度,而不是晶格温度.能量耦合过程由于非平衡电子的弹道式输运而呈现非局域性.热波的传播速度与电子能量传播速度有相同量级,而大于硅材料中的声子平均速度.模型预测与相关实验结果吻合.

关键词：飞秒激光、非傅里叶能量输运、数值模拟、硅薄膜

所属期刊栏目：21

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划802-4-4

在线出版日期：2007-07-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：183-187