氮化碳薄膜的制备及研究现状

摘要：

氮化碳具有良好的物理、化学性质和广泛的应用前景.目前主要采用化学气相沉积法、离子束溅射法、激光等离子体沉积和激光烧蚀、离子镀、离子注入法等制备方法.文中对氮化碳的结构、性质、制备、性能表征以及研究现状进行了比较详细的介绍.

关键词：氮化碳薄膜、制备、性能表征

所属期刊栏目：17

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：国家自然科学基金10125522,10075064;中国科学院"西部之光"人才培养计划

在线出版日期：2004-02-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：311-318