室温下用脉冲激光沉积E-BN薄膜

摘要：

在利用等离子体增强脉冲激光沉积系统沉积立方氮化硼(cBN) 薄膜时,发现了氮化硼(BN)材料的E-BN相,并利用扫描电镜和红外吸收光谱及X射线衍射技术对薄膜样品进行了分析,得到了制备较高质量E-BN薄膜的一些热力学参数及时间参数,验证了现有的E-BN结构的形成理论.

关键词：E-BN薄膜、脉冲激光沉积、扫描电镜、红外吸收光谱、X射线衍射

所属期刊栏目：16

分类号：O78(晶体生长)

资助基金：湖南省教育厅科研项目01C061

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：297-300