10.3969/j.issn.1005-829X.2010.05.030
半导体行业超纯水制造技术
随着超纯水技术在半导体行业的应用日益广泛,半导体制造单位对超纯水的要求也越来越高.作者详述了超纯水的制造工艺及各个环节中所用不同工艺设备的对比.同时,还详细介绍了超纯水工艺流程中的节能减排措施.
半导体、超纯水、节能减排
30
TU991.41(地下建筑)
2010-09-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
90-92
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10.3969/j.issn.1005-829X.2010.05.030
半导体、超纯水、节能减排
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TU991.41(地下建筑)
2010-09-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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