含氟废水处理工艺的技术改进

摘要：

通过对集成电路工厂废水种类、成分和原有废水处理工艺及原理的分析,以及对废水处理系统投入运行以来在工艺、设备、控制等方面存在诸多问题的研究,经过比较和分析,采用日本富士化水公司开发的用于处理半导体工业废水的专利技术--Heldy-F法,并对原有废水处理工艺进行了技术改造,改造后系统运行稳定,出水水质达到国家标准,运行成本降低,取得了良好的效果.

关键词：集成电路、含氟废水、电镀废水

所属期刊栏目：27

分类号：X703.1(一般性问题)

在线出版日期：2007-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：84-86