硅外延生产中SPC技术的研究成果

摘要：

统计过程控制技术是以数理统计为基础,通过生产数据统计分析,对生产过程是否处于统计受控状态做出定量结论.控制图本身只是一种工具或手段,绘制控制图的目的在于管制制程在我们所期望的范围内,合乎经济原则来生产产品.文章通过在硅外延生产中采用科学的SPC监控案例,实现质量诊断、质量改进、质量评价的功能,最终达到了改善产品质量、提高生产效率和经济利润的目的.

关键词：SPC、硅外延、质量改进

所属期刊栏目：28

分类号：F406.2;F279.23;TP27

在线出版日期：2019-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：65-67