MEMS家用热式燃气表结构与计量特性

摘要：

随着对微机电系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,传统的工业和流体力学研究的流量传感器向高集成度、微型化、高精度、高可靠性方向发展.大规模半导体集成技术的不断创新,使基于MEMS技术的气体流量仪表进入规模化生产成为可能.文章对基于MEMS技术的热式流量传感器的原理和JGM系列MEMS家用热式燃气表结构作了简要介绍,重点评述了由荷兰NMi实验室检测的仪表流量误差特性和压力损失特性,以及热式技术应用于燃气计量的耐污染、极小流、噪声干扰、空气与燃气间关系等关键问题.从检测结果可知,该型仪表流量范围度达到1:250,流量示值误差等主要技术指标满足欧盟MID指令要求.最后对基于MEMS技术的热式燃气表的发展趋势进行了展望.

关键词：计量学、膜式燃气表、MEMS、热式燃气表、流量传感器

所属期刊栏目：27

分类号：TH706;TH814;TM933.4

在线出版日期：2018-07-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：67-71