基于MEMS传感器高精度流量控制手段的实现

摘要：

市场上主流的MEMS流量传感器在其量程的小段范围内综合精度最高可达到0.5％F.S,大范围的测量误差2.5％F.S左右,甚至9％F.S以上.如果直接采用该传感器对流量进行控制,不仅造成较大的测试误差,而且占据较大的空间.文章采用某型号流量传感器作为测量元件,利用传感器最高精度的测试范围,实现了小量程传感器对大流量的高精确控制.对MEMS流量控制器的方案进行了详细介绍,以10 scm/min为例,对其进行了设计计算.结果表明,该方法满足设计要求,达到了设计目的,为气体流量的精确控制提供了一条简单可行的途径.

关键词：MEMS传感器、质量流量、控制

所属期刊栏目：27

在线出版日期：2018-07-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-23,28