新版ISO14644-1∶2015与旧版ISO14644-1∶1999比较

摘要：

ISO 14644-1(14644-1∶2015)最新版本(第2版)已经于2015年12月发布,在新版的规范中,对洁净度分级、采样点数量、采样数据处理方面均有部分变化,文章对新版本ISO标准的主要变化及其对洁净室确认的分级测试的影响进行深入讨论.

关键词：ISO14644-1、洁净室、分级、检测、等速采样

所属期刊栏目：27

在线出版日期：2018-07-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

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