10.13228/j.boyuan.issn1002-1183.2015.0155
离子风机的校准方法及不确定度分析
目前国内外均尚无与离子风机有关的检定规程、校准规范及相关建议,依据ANSI/ESD STM3.1-2000、ESD SP3.3-2000、IEC61340-5-1等标准所规定的方法并根据离子风机的工作原理和技术指标,文章提出离子风机的一种校准方法,并分析其测量不确定度,本方法已在实验室多次验证,测量所得数据符合离子风机的技术指标要求.
离子风机、校准方法、测量不确定度
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TN4;O44
2017-05-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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