用数字波面干涉仪快速检测平晶的平行度

摘要：

文章提出了一种新的检测方法即用数字波面干涉仪检测平晶的平行度.分析了测量不确定度的来源,并对测量不确定度进行了分析评定.与传统的方法相比在保证测量准确度的前提下,大大提高了工作效率.

关键词：数字波面干涉仪、平行度、不确定度

所属期刊栏目：21

分类号：TH741(仪器、仪表)

在线出版日期：2011-05-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：9-10