长度光栅测量系统的误差修正技术

摘要：

文章针对长度光栅测量系统的误差来源、特点提出了二次比对、拟合的修正方法.在文章所论述的方法中,通过光电显微镜、线纹尺、数据拟合工具将光栅位移长度溯源到激光波长;将生成的修正公式赋进长度光栅测量系统的程序中完成误差自动修正.文章提出的光栅测长系统的误差修正方法原理简单、实用、修正精度高.对于三坐标测量机、测长机、万工显等精密直线位移平台都具有借鉴和参考价值.

关键词：光电显微镜、长度光栅测量系统、误差、误差修正

所属期刊栏目：20

分类号：TH711(仪器、仪表)

资助基金：发明专利CN101614861A

在线出版日期：2010-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：10-13