超光滑表面纳米压痕硬度测试研究

摘要：

介绍纳米压痕法常用的Oliver-Pharr方法的计算原理,对硬度的概念做了进一步讨论.通过对三种不同材料的超光滑表面进行硬度测试,得出它们各自的硬度值和弹性模量,分析了结果差异的原因,探讨了在采用Oliver-Pharr方法进行硬度各参数测量时应注意的问题,分析结果对超光滑表面加工也有一定的指导意义.

关键词：纳米压痕、纳米硬度、超光滑表面、Oliver-Pharr方法

所属期刊栏目：18

分类号：TB938(计量学)

资助基金：航天科技支撑资金项目

在线出版日期：2008-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：3-5