平晶检定时干涉条纹的快速调整方法与平面度计算

摘要：

在平面等厚干涉仪上检定平晶工作面平面度时,需要在被检区域调整出3到5条干涉条纹,依据测量原理和计算公式求出被检平晶工作面的平面度.文章重点分析干涉条纹的快速调整方法与标准平晶平面度的正确引用方法.

关键词：等厚干涉、干涉条纹、调整方法、平面度、计算

所属期刊栏目：17

分类号：TH74(仪器、仪表)

在线出版日期：2007-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：8-11