三维应变式位移测振传感器机械结构的设计

摘要：

应变式传感器由于自身具有的灵敏度、测量精度和可靠性高、动态响应快、抗干扰性强等特性,已经在很多领域广泛应用.文章中设计的三维位移振动传感器采用的是半导体应变式,在机械结构上架构了测量三维振动的空间体系,其对称型机构能消除部分误差,主要应用在测量微振动和低频振动上,而且在微型化方面取得了很大的进步.

关键词：三维测振、应变式、微型式、微振动

所属期刊栏目：17

分类号：TH82

在线出版日期：2007-07-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1-3