纳米测量中的光栅信号细分技术

摘要：

文章介绍了一种高精度位移测量方法,以LabVIEW作为工具,对高精度线性衍射光栅干涉仪(LDGI)的正交弦波信号进行采集、处理和分析,进行准确、快速的计数和细分,计算出精确的位移,并进行方向判断.以软件进行信号处理、位移计算,并对可能存在的信号异常进行纠错,简化了硬件,减少了电气环节引入的干扰.实验数据表明:该方法有效地进行高精度位移测量,标准差在20nm以下.

关键词：纳米测量、LDGI、信号处理

所属期刊栏目：16

分类号：TP21(自动化技术及设备)

资助基金：中国科学院资助项目50275048

在线出版日期：2006-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：15-17