动态测量光栅测长仪的位置误差

摘要：

介绍了一种光栅测量系统动态位置精度评定的方法,以现有的光栅测长仪为研究对象,高精度HP5529A双频激光干涉仪作为校准系统.利用光栅测长仪编码器产生的A-quad-B脉冲信号触发激光干涉仪进行同步动态数据采集,由激光干涉仪软件来获取和显示位置误差数据,并绘制更真实详细的动态误差图.最后对动态误差实验结果进行分析和讨论.

关键词：光栅、动态误差、A-quad-B脉冲、激光干涉

所属期刊栏目：15

分类号：TM930.115

资助基金：国家自然科学基金50275047

在线出版日期：2005-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：10-12